刘俊伯,博士,中科院光电技术研究所微电子装备总体实验室,副研究员,硕士生导师,主要从事中高节点投影光刻机相关核心技术研究。2017年入选西部之光人才计划,2020年入选中国科学院青年创新促进会,获创新基金计划资助。
作为项目负责人,承担某型光刻装备项目曝光系统研制、国家重点研发计划、国家自然科学基金、四川省应用基础研究(面上项目)、四川省融合类研究项目等课题;作为主要研究人员,参与多个02专项、国家重大科研仪器装备项目的研制工作。在上述项目支持下,重点开展光刻机整机集成、综合像质原位测试以及复杂投影光刻曝光系统等核心技术研究,在OPT EXPRESS、OPT LASER ENG等SCI期刊上发表论文10余篇,获发明专利授20余项。
组织团队成功研制UVSTEP系列化投影光刻装备,在军民领域实现多台套上线应用。特别在压力敏传感器领域,该型投影光刻设备打破国外光刻装备“卡脖子”现状,产生较好的社会、经济效益。